在对IC逆向分析过程中，确认管子的类型通常由电路分析工程师通过经过染色的平面数据来判断，但是由于现在工艺越来越复杂，且染色的局限性，有时仅凭平面染色数据不好辨别管子类型，用扫描式电容显微镜可以检测出掺杂类型。
扫描式电容显微镜（Scanning Capacitance Microscopy，简称SCM）利用接触式原子力显微镜（AFM）扫描试片，使用金属探针，探针及试片上的氧化层形成一个MIS电容（如图1），探针加交流电压，来检测表面层电容变化，不同载子浓度会有不同的电容变化，用dc/dv数据可以分辨不同形态载子分布。
那么如何来看SCM数据呢，我们拿一个MOS管来举例，如图2所示这是一个在P sub上做了一个N well的P管的剖面SCM数据，其中剖面图中N,P是通过右侧比色卡判断的。
SCM是一种定性分析，要比平面染色更加清晰直观的判断出掺杂的类型，这在逆向分析中有着很重要的作用。
